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Case Study

LG디스플레이 Photo 공정 CTQ 다변량 분석

제품 품질 개선 및 관리 Parameter 개수 감소를 통한 관리 Loss 절감을 위해 TFT Photo 공정의 Aligner, CDS 개별 Parameter들이 공정 CTQ(Critical To Quality)에 미치는 개별 및 교호작용을 분석하였고, 분석 결과를 바탕으로 Parameter 관리 방안을 수립하여 고객사에 제공하였습니다.

컨설팅 수행배경
TFT Photo 공정에 영향을 미치는 Parameter가 다수 존재하여, 통계 데이터를 활용한 모델링 값을 기반으로
Parameter를 관리하고 있었습니다. 그러나, 최근 Parameter 관리 고도화를 위해 운영 현황에 대한 검증 및
개선 방안 수립이 필요한 상황이었습니다. 또한 공정 CTQ 데이터의 경우, 진행 Lot 별 Sampling 측정이
이루어지고 있어 Parameter와의 1:1 매칭을 통한 분석이 어려워, CTQ와 Parameter와의 연관 분석 수행에
대한 필요성이 제기된 상황이었습니다.
컨설팅 수행방법
설비 Parameter Data와 분석을 위한 공정 CTQ Data 추출 및 Parameter의 호기별, Layer별 일정 기간의
변동 수준을 파악하였고, 다변량 분석 기법(선형/비선형)을 적용을 통해 Parameter와 CTQ간의 연관성을
파악하였습니다.
결과 및 이행성과
TFT Photo 공정의 CTQ에 영향을 미치는 주요 Parameter를 도출하였으며, 개별 Parameter 및 2개 이상의
Parameter 조합(교호작용)이 CTQ에 미치는 영향을 분석하였습니다. 영향성 분석 결과를 기반으로 주요
Parameter의 관리 Spec 값을 고객사에 제공하였고, 이를 활용하여 고객사는 제품 품질 수준을 개선할 수
있었습니다.
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